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\ ?? \ 綠能與半導體事業部 \

Solarius

公司簡介

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  1.            ????????


    I. ????

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    II. ??????

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    • VIKING: ?????3D???????????6�???????????R&D?????um??????

    • ATLAS: ???3D????????????12�? ??????????????????????sub-um??????
    • POLARIS: ???3D????????????12�? ????????????????sub-um??????




    III. ???????

    Solarius?????????????????????????????sensor????????????????????????????

    • AOP CUSTOM: ????????????????????
    • AOP THICKNESS: ????????????TMT?TTV?

    • BGA: ????(JEDEC TRAY)?????????????SEMI S2/S8???



l   ????:  ??ISO 4287?ISO 25178�????2D/3D?????


IV. ?????????

??????100%??2D/3D??????????SPC???????

    • OMT (Offset Measurement Tool): ???????????
         ?????
      100%????????????????????????????


    • AMT(Automated Metrology Tool) : ??????????????
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      100%???????2D/3D????????????


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