微波萃取設備可高效且低溫萃取花草木精油、純露、微量元素、生技和藥材珍貴成分，營養不流失，也可用作微量汙染分析和低溫生物試劑。
| 比較項目 | 微波萃取 | 超臨界Co2 | 傳統蒸餾 |
| 能耗 | 低 短時間加熱 |
中 高壓環境 |
高 多為長時間加熱 |
| 時間效率 | 最快 (數分鐘至數十分鐘) |
中等 | 慢 (數小時) |
| 精油品質 | 保留活性，香氣完整 | 產品純淨 | 部分氧化或失香 |
| 投資成本 | 中 需微波真空系統 |
最高 需高壓容器 |
低 設備簡單 |
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